国家标准计划《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后7个月正式实施。

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 。

主要起草人 李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。