国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、苏州晶瑞化学有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 。

主要起草人 李雨辰 、何秀坤 、刘筠 、刘兵 、李翔 。