国家标准《电子级多晶硅》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 峨嵋半导体材料研究所 、四川新光硅业科技有限责任公司 、有研半导体材料股份有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 。
主要起草人 詹科 、杨旭 、种娜 、黎亚文 、梁洪 、孙燕 、刘晓霞 。
GB/T 12963-2009 (全部代替)
GB/T 12963-2014 废止
GB/T 12963-2022 (全部代替)
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |