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掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
国家标准 推荐性 废止

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 峨嵋半导体材料研究所 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 13389-1992 废止

掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
被以下标准替代

GB/T 13389-2014 （全部代替）

掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

基础信息

标准号
GB/T 13389-1992
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F723:1987。

采标中文名称:。

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

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