国家标准《电子级磷酸》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 、湖北兴福电子材料股份有限公司 、贵州磷化（集团）有限责任公司 、江阴江化微电子材料股份有限公司 、江苏美阳电子材料有限公司 、天富（江苏）科技有限公司 、西安吉利电子新材料股份有限公司 、信联电子材料科技股份有限公司 、广西川金诺化工有限公司 、江苏澄星磷化工股份有限公司 、云南省化工产品质量监督检验站 、联仕新材料（苏州)股份有限公司 、湖北三宁化工股份有限公司 、广西钦州志诚化工有限公司 、眉山胜科电子化学有限公司 、晶瑞电子材料股份有限公司 。

主要起草人 曹可慰 、李少平 、史泽远 、赵俊莎 、姜飞 、陈惠云 、顾玲燕 、吴怡然 、李祥庆 、苏守进 、聂新宇 、张宝帅 、胡国涛 、贾成林 、陈伟 、徐海圣 、张淑娟 、王琴 、姚莎 、李万清 、雷惠宪 、李全东 、叶瑞 、贺兆波 、黄如林 、张永萍 、黄俊群 、钱森林 、王洪华 。