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硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准 推荐性 现行

国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 长沙韶光微电子总公司 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 16527-1996 现行

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

基础信息

标准号
GB/T 16527-1996
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
标准类别
产品
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。

采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

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