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国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位长沙韶光微电子总公司。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 16527-1996 现行

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

基础信息

标准号: GB/T 16527-1996
发布日期: 1996-09-09
实施日期: 1997-05-01

标准类别

产品

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。

采标中文名称:。

起草单位

长沙韶光微电子总公司

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