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离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment
国家标准 推荐性 废止

国家标准《离子注入机通用技术条件》 由339-1（工业和信息化部（电子））归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位 电子工业部第四十八研究所 。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止
当前标准

GB/T 15862-1995 废止

离子注入机通用技术条件
被以下标准替代

GB/T 15862-2012 （全部代替）

离子注入机通用规范

基础信息

标准号
GB/T 15862-1995
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
废止日期
2013-02-15
标准类别
产品
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
工业和信息化部（电子）
执行单位
工业和信息化部（电子）
主管部门
工业和信息化部（电子）

起草单位

电子工业部第四十八研究所

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