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国家标准《焦深与最佳聚焦的测量规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子中心。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 17865-1999 现行

焦深与最佳聚焦的测量规范

基础信息

标准号: GB/T 17865-1999
发布日期: 1999-09-13
实施日期: 2000-06-01

标准类别

方法

中国标准分类号

L56

国际标准分类号

31.200

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准委

采标情况

本标准等同采用其他国际标准：SEMI P25:1994。

采标中文名称:。

起草单位

中国科学院微电子中心

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