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国家标准计划《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 四川新光硅业科技有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司天威四川硅业有限责任公司

主要起草人 梁洪刘畅陈自强张新蓝志张华端等

目录

项目进度

当前标准计划

20081144-T-469 已发布

用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
已发布标准

基础信息

计划号
20081144-T-469
制修订
制定
项目周期
36个月
下达日期
2008-11-03
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

梁洪
刘畅
蓝志
张华端
陈自强
张新

采标情况

本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104。

采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。

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