国家标准计划《多轴干涉镜组测试方法 第1部分：光学性能》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、成都科丰芯缘科技有限公司 、吉林省巨程智造光电技术有限公司 、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 。