国家标准计划《多轴干涉镜组测试方法 第2部分:热漂移》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、成都科丰芯缘科技有限公司 、长春巨程光学有限公司 、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 。
20265014-T-469 正在起草