国家标准计划《金属溅射靶材内部缺陷的检测 水浸式超声波法》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、贵研先进新材料（上海）有限公司 、云南贵金属实验室有限公司 。