国家标准计划《椭圆偏光法 原理》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，TC57SC10（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 华中科技大学 、中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司 、湖北省标准化与质量研究院 。

主要起草人 陈蓉 、刘潇 、曹坤 、陈辉 、易娟 、李婳婧 、郎江华 、谢宇阳 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23131:2021。

采标中文名称:椭圆偏光法 原理。