国家标准计划《表面化学分析 词汇 第3部分：光学界面分析术语》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院 、中国计量科学研究院 、上海交通大学 、中科院物理所 、北京交通大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 18115-3:2022。

采标中文名称:表面化学分析 词汇 第3部分：光学界面分析术语。