国家标准计划《电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶红外光谱法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司西南分公司 、中国计量科学研究院 、广东华特气体股份有限公司 、北京高麦克仪器科技有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、大连大特气体有限公司 、浙江西亚特电子材料有限公司等 。