《电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶红外光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

大部分的电子气体中都规定了酸度的含量及其测定方法，目前大多用传统的化学分析法测定，操作繁琐还不环保，方法的检测限也无法满足高纯度电子气体的要求。

傅里叶红外法具有操作简洁、时间短，方法灵敏度高，准确性大，因此迫切需要制定国标替换传统的化学方法。

近年来，随着大规模集成电路技术的进步，市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。

在此背景下，为提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子气体中酸度的测定 第1部分：傅里叶红外光谱法》国家标准英文版。