国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 北京中科科仪股份有限公司 。
20230571-T-604 正在征求意见
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 21360-4:2018。
采标中文名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵。