地方标准《微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法》由广东省质量技术监督局归口上报，主管部门为广东省质量技术监督局。

主要起草单位 广州计量检测技术研究院 、金发科技股份有限公司 。

主要起草人 王潇潇 、韦争亮 、王海燕 、张鹏 、张洁 、程庆 、熊磊 、汪立文 。

备案号：47073-2015。

备案公告： 2015年第10号 。

本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。