国家标准计划《薄膜针孔率的扫描电镜测量方法》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 凯伏绿能（西安）光电有限公司 。

钙钛矿薄膜，其他材料薄膜，薄膜抽气结晶器，薄膜退火炉，薄膜涂覆设备

本标准规定了使用扫描电镜（scanning electron microscope, SEM）和图像分析处理软件测量薄膜针孔率的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于薄膜的检测，适用于针孔面积及其所占比例的测量，其余金相图像与薄膜相似的材料针孔率也可参照执行。 其主要技术内容为： 1.测量原理； 2.仪器； 3.测试步骤： 1）检测区域的选择：若样品表面存在目视可见的针孔富集区域，则选取此部分样品作为检测区域；若样品表面致密均匀，无目视可见的明显区别，则按照中心区域和边缘区域共九个区域取样，每个区域独自测量计算针孔率； 2）图像测量：针对一个待测样品，取得一个视场内的SEM图像后，移动至下一个测量视场（视场间不允许重叠）继续分析，每个样品至少获取三个清晰的SEM图像。 4.图像分析步骤： 1）图像测量区域选取； 2）针孔鉴别方法。 5.数据处理： 1）针孔率计算； 2）视场针孔率Pi计算； 3）样品针孔率PS计算。 检测报告。

国家重点研发计划可再生能源重点专项