地方标准《硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法》由中国科学院福建物质结构研究所归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。

主要起草单位 中国科学院福建物质结构研究所 。

主要起草人 黄丰 、吕佩文 、陈伦泰 、王永好 、林璋 、黄瑾 。

备案号：32194-2012。

备案公告： 2012年第1号 。

本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（G D M S )所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。 本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、N a、M g、A 1、P、K、T h、U等元素的测定