国家标准计划《电子级多晶硅》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 、有色金属技术经济研究院 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、峨嵋半导体材料研究所 。

目前中国正在全力发展集成电路，产业目标由“中国制造”转换为“中国创造”。

未来全球有60余座芯片厂建成，其中有半数在中国大陆，对电子级多晶硅的需求量将增加超过30%（近1万吨）。

与此同时，以美国为首的部分国家掀起“贸易战”，对未来电子级多晶硅的进口造成了很大的不确定性。

目前，电子级多晶硅已被列入《重点新材料首批次应用示范指导目录（2018版）》第140项，电子级多晶硅的国产化势在必行，也非常急迫。

现有标准GB/T 12963-2014《电子级多晶硅》对电子级多晶硅产品的等级划分、技术要求已无法满足市场的实际需求，与电子级多晶硅的应用存在较大的差异，无法指导企业的生产和销售。

通过对此标准的修订，能够更加贴合市场实际情况，和国际先进电子级多晶硅企业质量水平接轨，有效的指导国内电子级多晶硅的生产、销售和应用，提高国内企业的国内国际市场竞争力。

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本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得在大功率器件和大规模集成电路应用的电子级多晶硅，规定了电子级多晶硅的技术要求。 主要修订内容如下： 一、重新划分产品等级。 二、技术指标要求： 1.对受主杂质浓度、施主杂质浓度、碳浓度和基体金属杂质浓度技术指标进行修订，指标要求加严。 2.氧浓度指标改为供需双方协商。 3.表面金属杂质浓度指标要求加严，并且拟分为人工破碎和酸洗两种类型 4.少数载流子寿命修改为供需双方协商确定。