国家标准计划《电子级多晶硅》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 、有色金属技术经济研究院 、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 、峨嵋半导体材料研究所 。

本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得在大功率器件和大规模集成电路应用的电子级多晶硅，规定了电子级多晶硅的技术要求。 主要修订内容如下： 一、重新划分产品等级。 二、技术指标要求： 1.对受主杂质浓度、施主杂质浓度、碳浓度和基体金属杂质浓度技术指标进行修订，指标要求加严。 2.氧浓度指标改为供需双方协商。 3.表面金属杂质浓度指标要求加严，并且拟分为人工破碎和酸洗两种类型 4.少数载流子寿命修改为供需双方协商确定。