国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院物理研究所 、国家纳米科学中心 、深圳市标准技术研究院 。

主要起草人 顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。