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国家标准《电子工业用四氯化硅》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会化学品分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 湖北晶星科技股份有限公司湖北省标准化与质量研究院洛阳中硅高科技有限公司唐山三孚电子材料有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司广东华特气体股份有限公司浙江西亚特电子材料有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司上海市计量测试技术研究院联雄投资(上海)有限公司随州市信息与标准化所达州市质量技术监督检验测试中心西南化工研究设计院有限公司

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目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 38867-2020
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-02-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

徐德
张国光
杨剑
赵雄
戴帅
张竞
陈艳珊
杨利
曹作斌
曲庆
黄辉
谭鹏程
徐龙
赵帅德
黄娣
刘畅
楚东旭
王春英
黄国菲
廖恒易
于青玉
方华
陈鹰
李春华
邓远方
周鹏云
唐霞梅

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