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国家标准《硅片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 北京有研半导体材料股份有限公司

主要起草人 卢立延孙燕杜娟

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 6618-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6618-1995
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

代替以下标准

全部代替 GB/T 6618-1995

起草单位

起草人

卢立延
孙燕
杜娟

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