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刘坤
委员会：TC18

从事专业	真空科技与航天工程
专业特长	主要从事真空科技与微纳机械领域的教学和研究工作，其中围绕集成电路装备领域的真空技术应用瓶颈需求，开展了集成电路领域真空干泵核心装备的正向设计理论、新产品样机自主研发、精准测试等产业化应用难题的攻关。