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负责专业范围为光电测量与控制。

擅长专业为在集成电路设备领域有着12年的从业经历,连续参与了国家“十一五”、“十二五”等重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”技术研发;承担了多项上海经信委产业技术创新项目,负责领导了光刻机精密光电测量系统研发;多年从事半导体检测系统的开发工作,熟悉以下技术领域:1)半导体检测设备或检测系统的技术开发和规范2)精密光电测量系统、整机电气控制系统的技术开发。