负责专业范围为半导体器件专用设备制造-精密光学检测和量测技术。
擅长专业为从事高端半导体质量控制装备的光学检测技术等方面研究，主持了多个国家级集成电路高端检测和量测设备项目的研发及产业化工作，其中通过国家科技重大专项02专项实现集成电路无图形晶圆检测设备的研制成功，建成全国首台套装备，另外主持研发成功的高端设备还有明暗场缺陷检测设备、薄膜量测设备，套刻设备等，都属于国际先进，国内领先地位；参与了《智能制造机器视觉在线检测系统通用要求》等国标的制定。。
全国标准信息公共服务平台
