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张大成

负责专业范围为微电子机械系统（MEMS）和微电子工艺、器件、设备。

擅长专业为硅基MEMS加工技术、工艺质量评估方式、微纳结构材料试验方法；硅基MEMS芯片产业化技术、硅基MEMS工艺设备。

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