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负责专业范围为半导体器件专用设备制造-精密光学检测和量测技术。

擅长专业为面向集成电路前道精密光学量检测需求,长期从事集成电路光学检测和测量技术、X射线检测和测量技术、皮秒超声测量技术,精密仪器装备工程化集成、微振环境控制等。。