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技术委员会
刘世元
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负责专业范围为光学精密测量技术与仪器。
擅长专业为集成电路IC测量技术与装备、纳米光学测量技术与仪器、精密测量技术与仪器、椭偏测量技术与仪器、薄膜测量方法与应用、光学成像理论与应用。