负责专业范围为纳米组装和表征在电子和能源领域的应用。

擅长专业为申请人是国际公认的区域选择性原子层沉积技术开创者之一，在先进功能材料表面的原子精度定向定位修饰理论、均匀一致性表面处理工艺和快速高效扩大化装备等方面取得系列原始创新：1）发现由基底吸附能和前驱体键合能驱动的位点选择性原子层沉积规律，建立了外露表面结构对反应物种吸附迁移反应能量路径影响的动力学模型，结合前驱体配体选取、反应分压与温度调控，提出了沉积物质对不同表面能位点定位沉积的新原理；2）提出多场耦合克服微纳颗粒内聚力的离心流化理论，发明了可调超重力实现颗粒解团聚的关键技术，攻克微纳颗粒软团聚形成团聚体包覆的难题，国际首创扩大化行星流化式原子层沉积装备，实现微纳米颗粒批处理量由克级向千克级的跨越；3）建立前驱体在运动基底表面的化学反应流体动力学模型，提出了高灵敏度动态微间隙气体隔离判定准则，研制了常压空间隔离原子层沉积装备，沉积速率较传统真空原子层沉积提高2个数量级，为目前国际报道最好水平。。