行业标准《电真空器件用镍及镍合金化学分析方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究院 。
主要起草人 张旭 、张理 、裴会川 。
备案号：80913-2021。
备案公告： 2021年第3号 。
适用于电真空器件用镍及镍合金化学分析
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