行业标准《多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 北京中材人工晶体研究院有限公司 、山东工业陶瓷研究设计院有限公司 。

主要起草人 张伟儒 、张哲 、王方香等 。

备案号：51019-2015。

备案公告： 2015年第9号 。