行业标准《半导体用透明石英玻璃器件》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中国建筑材料检验认证中心 、中国建筑材料科学研究总院 。
主要起草人 吴洁 、杨小会等 。
备案号：34407-2012。
备案公告： 2012年第2号 。
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