行业标准《光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国电子节能技术协会 、中国电子科技集团公司第五十四研究所 。

主要起草人 张倩 、石少青 、辛士卓等 。

备案号：54914-2016。

备案公告： 2016年第7号 。