行业标准《自动砂轮划片机》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 沈阳仪表科学研究院有限公司 、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心 、晶能光电（江西）有限公司等 。

主要起草人 张仕卿 、曾艳丽 、刘光恒等 。

备案号：54856-2016。

备案公告： 2016年第7号 。