行业标准《集成电路用 铝腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 江阴润玛电子材料股份有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。
主要起草人 戈士勇 、何珂 、王周霞等 。
备案号：50563-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
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