行业标准《TDL-GX硅芯生长炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 西安电炉研究所有限公司 、西安理工晶体科技有限公司等 。
主要起草人 陈巨才 、朱琳等 。
备案号:47253-2014。
备案公告: 2014年第12号 。