行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 沈阳芯源微电子设备有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。

主要起草人 贺立波 、徐春旭 、汪明波等 。

备案号：54855-2016。

备案公告： 2016年第7号 。