行业标准《i线光刻级氟化钙晶体》由全国人工晶体标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 、上海德硅凯氟光电科技有限公司 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 、上海现代先进超精密制造中心有限公司 、中材人工晶体研究院有限公司 。

主要起草人 苏良碧 、刘荣荣 、张博 、姜大朋 、寇华敏 、吴庆辉 、张中晗 、唐飞 、王静雅 、钱小波 、贾健 、侯宝路 、李运峰 、吴永庆 、陈建荣 。

备案号：108388-2026。

本文件规定了i线光刻级氟化钙晶体的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。 本文件适用于i线光刻级氟化钙晶体。