行业标准《大功率射频板条波导二氧化碳激光器》由全国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 华中科技大学 、武汉华工激光工程有限责任公司 、深圳市大族超能激光科技有限公司 、中国电子科技集团公司第十一研究所 、湖北光谷实验室 、上海微电子装备（集团）股份有限公司 。

主要起草人 唐霞辉 、秦应雄 、李婷 、邓家科 、胡瑞 、唐晓军 、唐江 、周伟 、康劲 、李春波 、霍宗亮 、胡军巍 、杨和逸 、张志远 、于杨 、刘江 、罗敬文 、王晓峰 、张鹏 、高凤翔 、朱晓峰 、冯勇华 、吴尚 、彭浩 、赵子豪 、刘彦 、周小庄 。

备案号：105523-2026。