行业标准《激光干涉仪》由全国量具量仪标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 深圳市中图仪器股份有限公司 、成都工具研究所有限公司 、浙江省计量科学研究院 。

主要起草人 张珂 、马俊杰 、许刚 、何宜鲜 、陈勇军 、陈挺 。

备案号：104440-2026。