行业标准《高纯铜蒸发料》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:104119-2026。
本文件规定了高纯铜蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于半导体行业用的高纯铜蒸发料,其他用途的高纯铜蒸发料也可参考使用。