行业标准《氧化铟镓锌靶材》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:100706-2025。
备案公告: 2025年第7号 。
适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料,以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌靶材,主要应用于新型显示器件薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)等产业,用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。