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Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

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基础信息

标准号
ISO 14644-14:2016
版本
1
标准来源
ISO
标准发布组织
ISO
国际组织机构
ISO/TC 209    
标准语言
EN
发布日期
2016-09-14