《电子特气 一氧化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

电子级一氧化氮是集成电路技术不断进步带来的新的需求材料。

主要是应用在3D-NAND Flash等闪存芯片高端工艺制造中，由于产品纯度高，技术难度大，目前国际上电子级一氧化氮的生产厂家很少，主要包括住友、wonik等生产企业，分布在日本、韩国，这些厂家成为半导体客户主要的供应商， 中国已具备自主研制电子级一氧化氮的技术，随着中国半导体行业发展，国内生产企业和应用单位也日益增加，国内芯片厂已陆续试用和批量使用。

国产一氧化氮产品现已批量出口台湾、韩国及欧洲地区。

为贯测落实《标准化法》，加快国内制度规则与国际接轨，提升电子特气科技水平发展，现申请立项制定《电子特气 一氧化氮》国家标准英文版。