《氧化锌铝靶材》由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口上报,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行,主管部门为中国有色金属工业协会。
目前国外有很少企业生产AZO靶材,美国和德国各有一家,这两家靶材生产企业没有公开的信息,更没有靶材标准的有关信息。
氧化锌铝(AZO)靶材为磁控溅射制备薄膜重要的战略新材料,不断完善、提高其技术要求符合产业发展的趋势和规律,因此,氧化锌铝(AZO)靶材国家标准的制定十分必要和迫切。
随着标准和产业化的协同发展,将对技术与市场起到极大的规范和引领作用。
有助于推动氧化锌铝(AZO)靶材走出国门。