《洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
在洁净室内的空气化学污染物分为酸类、碱类、气相可凝结化合物(有机类)、气相掺杂化合物及气相金属化学物等,这些分子级别的气态化学物来源于室外新风、水泥等建材、油漆、黏合剂、防水填料、密封胶等材料、以及工艺生产使用的化学品等。
随着新型高科技产品不断发展,洁净室内通过传统的控制微米级颗粒数量来保证空气洁净度等级的做法已不足以确保工艺正常生产,必须对环境中的化学分子污染也进行严格的控制。
目前,国际上已经对洁净室中的化学物污染引起高度重视,陆续更新和增加了针对洁净室化学污染方面的标准。
我国已有的GB/T 36306-2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南》对污染源分级与分类以及监测等提出要求,但未对如何控制洁净室空气中的化学污染浓度提出技术要求,且由于相关规范性引用文件的更新,该《指南》的部分内容已不能满足目前生产、科研等活动对洁净室化学物控制的要求,迫切需要进行修订。
本次修订将对GB/T 36306-2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南》中污染源分级与分类部分进行修改,与国家标准GB/T25915.8—2021 洁净室及相关受控环境第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级、现行ISO/TC209标准中对应内容相一致。
增加洁净室的设计、建造、验收、运行维护全过程对化学污染物浓度控制的措施,以及检测和监测等的技术要求,与国标GB/T 25915.8《按化学物浓度等级划分空气洁净度(ACC)等级》、GBT36066《洁净室及相关受控环境检测技术分析与应用》等配套使用,全面实现对洁净室化学物污染的可实施性控制。