《产品几何技术规范(GPS) 特殊结构的尺寸测量 第1部分:高深宽比微特征三维几何尺寸接触式测量》由TC240(全国产品几何技术规范标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
针对高深宽比微特征三维几何尺寸测量,国内外需求都非常迫切,标准对测量仪器的选用和校准方法、高深宽比微特征被测件的装夹和测量方法、误差分析与补偿方法、被测尺寸参数的评定方法等进行系统规范。