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《微机电系统（MEMS）技术制造能力评估第3部分：晶圆制造》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

目录

基础信息

标准编号: 20251992-T-469
计划下达日期: 2025-07-01
项目周期: 与中文国家标准项目周期一致

归口单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

翻译承担单位

无锡华润上华科技有限公司

北京晨晶电子有限公司

西安现代控制技术研究所

苏州晶方半导体科技股份有限公司等

中机生产力促进中心

芯联集成电路制造股份有限公司

华东光电集成器件研究所

国内外简要情况说明

本标准外文版的制定，有利于国内外MEMS领域科学技术的持续交流，也有助于提高中国标准的国际影响力。

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